Từ việc tái sinh bùn xử lý MWS
Tái chế nguyên liệu thô

• ・Phân loại và chỉ thu thập các hạt mài mòn và tái tạo bùn xử lý
• ・Tái chế nguyên liệu thô
• ・Giảm chất thải công nghiệp
• ・Tiết kiệm lao động nhờ tự động hóa hoàn toàn

Cải thiện hiệu quả làm sạch bằng bọt mịn

• ・``Hiệu ứng hoạt động bề mặt'' giúp cải thiện khả năng thấm của nước tinh khiết và thâm nhập vào bề mặt tiếp xúc giữa bụi bẩn và phôi
• ・"Hiệu ứng áp suất tác động" giúp loại bỏ bụi bẩn do va chạm khi bong bóng va chạm

Bằng cách lọc chất thải xử lý
Làm cho nước có thể tái sử dụng

• ・Hoạt động ổn định nhờ lọc dòng chảy chéo
• ・Dòng lọc được ổn định bằng cách rửa ngược
• ・Bộ lọc có thể được tái tạo bằng cách làm sạch bằng hóa chất
• ・Chọn từ 8 loại kích thước lỗ màng
• ・Hơn 99,5% dịch lọc được thu hồi từ nước thải
• ・Tương thích với phòng sạch

Khí lắng đọng và khí quyển
Trộn với độ chính xác và hiệu quả cao

• ・Trộn nhiều loại khí một cách đáng tin cậy chỉ bằng cách cho chúng đi qua
• ・Tỷ lệ trộn có thể được đặt tùy ý bằng cách kiểm soát tốc độ dòng chảy

Nhiều thành phần cùng dòng
Công thức tự động chính xác

• ・Tự động trộn nhiều nguyên liệu thô một cách nhanh chóng, chính xác và an toàn với hai loại điều khiển: trọng lượng nhẹ trong dây chuyền và đo trọng lượng
• ・[Thiết bị được tùy chỉnh hoàn toàn] Chúng tôi đề xuất thiết kế tối ưu theo thông số kỹ thuật của khách hàng